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半導體生產(chǎn)專用純水設備

產(chǎn)品介紹

  硅片,是制作集成電路的重要材料,通過對硅片進行光刻、離子注入等手段,可以制成各種半導體器件。用硅片制成的芯片有著驚人的運算能力??茖W技術(shù)的發(fā)展不斷推動著半導體的發(fā)展。自動化和計算機等技術(shù)發(fā)展,使硅片(集成電路)這種高技術(shù)產(chǎn)品的造價已降到十分低廉的程度。這使得硅片已廣泛應用于航空航天、工業(yè)、農(nóng)業(yè)和國防,甚至悄悄進入每一個家庭。

工藝設計
原水→原水加壓泵→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→一級反滲透設備→中間水箱→中間水泵→離子交換器→純化水箱→純水泵→紫外線殺菌器→微孔過濾器→用水點
設備特點

  1、連續(xù)運行禪水質(zhì)穩(wěn)定品質(zhì)更佳。

  2、系統(tǒng)運行可靠性穩(wěn)定。

  3、運行成本低。

  4、占地面積小。

  5、自動化程度高。

  6、操作及維護簡單,無需接觸酸堿。

  7、使用安全及環(huán)境良好。

  8、無污水排放,無環(huán)境污染。

技術(shù)參數(shù)
電導率:2-10μS/cm(25℃)
PH值:6.5-9
水溫度:5~35℃
總硬度:<0.5ppm
有機物:<0.5 ppm,TOC為零
氧化物:≤0.05ppm
鐵、錳:<0.01ppm
二氧化硅:<0.05 ppm
二氧化碳:<5ppm
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